상세 정보 |
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모델: | ALDI-OGS-800 | 최대 기질 크기: | 810x710mm |
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기질 간격: | 0~20mm | 효과적인 노출 지역: | 800x650mm |
제품 설명
1 유리 접촉 위원회를 위한 ALDI-OGS 시리즈 Maskless 노출 체계
신청:
1 유리 해결책 접촉 위원회를 위한 가동 가능한 노출 해결책.
정확한 aligment 기능 및 경제 노출 효율성을 제공하십시오. 요구되는 photomask 없음.
제품 성능:
igh 힘 섬유 Coupied 레이저
섬유에 의하여 결합된 고성능 레이저 단위는 모든 conerntional 감광저항에 점화 노출 속도를 줍니다. 저속한 가동 형태는 에너지 절약과 긴 가동 생활 시간으로 이끌어 냅니다.
가동 가능한 다 엔진 스캐닝 기술
우리의 모듈 광학적인 엔진은 애플리케이션 요건의 모든 종류를 위한 변하기 쉬운 화상 진찰 머리를 적응시키는 융통성을 줍니다
순간 스케일링 및 지역 찡그림
보상 기술
체계는 즉시에 있는 심상을 생성해, 기질 스케일링과 교체를 위한 동 보상을 허용하. Serial 각인 그리고 이하 위원회 찡그림 보상.
기술적인 매개변수:
품목 |
명세 |
모형 |
ALDI-OGS-800 |
최대 기질 크기 |
810x710mm |
기질 간격 |
0~20mm |
효과적인 노출 지역 |
800x650mm |
노출 형태 |
1개의 측 |
최대 강렬 |
≥1500W/CM2 |
자료 형식 |
Gerber274D/DXF |
파장 |
405nm |
최대 레이저 힘 |
56W |
줄맞춤 정확도 |
+/- 1um |
CD와 CD 균등성 |
10um±15% |
Throughput/50mj/cm2/21x24" |
60side/h |
초점 심도 |
±100um |